インターポーザウェハ

貫通電極を有するインターポーザウェハを高精度・低コストで製造可能。

インターポーザウェハの使用用途例

導電可能な電極をガラスに配置し、積層構造による高密度半導体部品を作製可能

インターポーザウェハ形状スペック

お客様のご要望に応じて多種多様な製品形状を設計いたします。

:: 形状スペック ::

A(電極径)	φ200μm～(±50μm)
B(電極ピッチ)	350μｍ～(±50μm)
C(キャビティ径)	φ250μm～
D(キャビティ深さ)	350μm～
E(キャビティテーパ)	20°～
適用ガラス材質	ホウケイ酸ガラス(BORO FLOAT33(テンパックス)), ソーダライムガラス
適用電極材質	コバール・42アロイ・タングステン

SEMI規格に準拠した厳格な製品品質を保証します。

その他オプションからお客様のご要望にも幅広く対応します。

スペック	4inch	5inch	6inch	8inch	12inch
直径	100±0.20mm	125±0.20mm	150±0.20mm	100±0.20mm	100±0.20mm
エッジ形状	C0.1 (+0.1mm/-0.05mm)
厚み	ユーザー仕様に準ずる
Total Thickness Variation(TTV)	< 10μm
歪	< 40μm	< 40μm	< 60μm	< 65μm	unspecified
反り	< 40μm	< 40μm	< 60μm	< 75μm	< 100μm
表面状態	光学研磨
ノッチ形状	可能
その他	ウェハ外周へのオリエンテーションフラット形状 ウェハ表面へのレーザー刻印