高品質のガラスウエハー
ボロシリケイトガラス、無アルカリガラス、光学ガラスなどお客様のご要望に応じた硝材の選定から直径・厚みもさまざまなサイズのウエハーを取り揃えています。また標準品以外にもお客様のご要望に応じたカスタム加工も承ります。
ダミーガラスウェハとは製品とは異なる実験や検査用のガラスウェハです。製造装置・製造過程の初期の安定性や上げるために投入され、搬送チェックや加工形状の評価においても使用されます。 実験やテストとしての使用が多いため、サイズや厚みが重要です。
Application
半導体工程内設定確認、各種実験用、Si研磨用サポートガラス
SEMI規格に準拠
Standard Production Spec
ガラス基板は多くの実験試験・製品製造工程で用いられています。一般に試験運用にはテスト専用のダミーガラスウェハが用いられますが、これらの厳密な品質は定められていません。 私たちは国際的な基準規格であるSEMI規格を元に、厳密なサイズ・厚みの品質を持つダミーガラスウェハを提供可能です。 さらにはレーザー刻印やコーティングオプションなど、ユーザーの要望に幅広く対応します。
Precision Processing
高精度なサイズ、厚みのダミーウェハを提供可能。
Laser Marking
レーザー刻印などのヨーザーオプションに対応可能です。
SEMI SPEC
SEMI規格に準拠した様々なサイズのウェハに対応しています。
Wide range of applications
40年以上のガラス成形技術の蓄積により機械加工では出来なかったDesignを実現します。